クリーン度(清浄度)について

清浄度とは

クリーンルームの清浄度は「一定の体積中の基準の大きさ以上の塵埃の数 量」で示されます。規格の原本は1963年のアメリカ連邦規格Federal Standard209です。現在では1993年に改定されたFed.Std209Eが最新版となっています。一般的に最も使われているものは209Dで す。これは1フィート立方中(28.8リットル)に0.5ミクロン以上の微粒子が何個あるかで表します。
209Dのクラス100とは1フィート立方中に0.5ミクロン以上の微粒子が100個以下であることです。1,000個以下であればクラス1,000。同じように10,000個以下であればクラス10,000と言い、数字が小さい程ゴミの無い空間になります。
国際標準に適合するため、ISO規格やJIS規格も制定されました。これは1m³中にある0.1µm以上の微粒子が対象になります。

一般環境下の清浄度目安

清浄度は、通常目にしたり感じたりすることはできません。又、測定器も高価で一般的ではなく、清浄度を容易に測ることも困難です。
そこで、私達の周囲の環境ではどの位なのか当てはめてみました。もちろん一般の環境での汚染の状態は時間や季節によって変わりますので一概には言えませんが、取りあえずの目安となります。写真のような環境ですと、表のようになります。

微粒子寸法比較